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基金-61409230704-MEMS真空封装技术(重点)

发布时间:2018-08-07
基本信息
项目编号 61409230704 项目类型 重点领域基金
专业领域
功能用途
研究目标:研究硅通孔、晶圆键合、吸气剂等技术,解决MEMS器件真空封装寿命短的难题,为满足真空度保持十二年的需求奠定技术基础。技术成熟度3级。
主要指标
泄漏率不大于10-9Pam3/s;吸气剂低温激活,激活温度不低于350℃。 成果形式:样件,研究报告。 单个项目经费限额:200万。 拟资助项目数:2。
开始申报时间:   2018-09-05        结束申报时间:   2018-09-07
该项目请线下申报
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